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KK1988

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[求助] EDS XPS区别

求教EDS与XPS在分析材料方面的区别，如测试精度，分析原理等方面

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼 2013-08-12 18:33:58

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lifucheng

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【答案】应助回帖

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KK1988: 金币+10 2013-12-02 15:57:31

EDS和XPS均是表面分析技术用于探查材料表面的性质，两者的共同点都是通过外加激发源通过发射的特征信号来进行定性定量分析。两者的区别有：激发源不同，EDS为电子散射谱，其激发源是电子，通过探测发出的元素的特征X射线波长和强度来实现的，根据波长确定所含元素，根据强度定出元素的相对含量。XPS为X射线光电子能谱，其激发源是X射线，通过照射样品，使样品表面的原子或分子中的电子受激发而发射出来，这些电子带有样品的表面结构信息，具有特征能量，通过研究这些电子的能量分布，从而对物质表面进行分析。EDS不能测定Li，而XPS则可以测定Li