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XPS和EDS有什么区别
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| XPS和EDS有什么区别，是不是都是表征元素含量的。 |
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【答案】应助回帖
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沈娟娟: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 受教了！O(∩_∩)O谢谢 2013-06-18 16:45:54
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沈娟娟: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 受教了！O(∩_∩)O谢谢 2013-06-18 16:45:54
| 区别大了。。建议楼主把材料表征的书再好好看看，入射信号，接受信号，目的都不同，EDS是看微区宏观深度的元素种类的，不能定量基本，但是电子束可以聚焦，所以可以得到微区元素分布，XPS是看价态的，必须对样品元素有初步了解才能测，否则精细谱你都不知道怎么取，另外XPS入射信号是X射线，无法聚焦的，只能看到很大表面的信息，但是它分析深度很浅，只有几个nm，就算用离子枪刻蚀也有很多问题，离子枪本来就有还原性，可能改变元素价态的，总之是完全不同的东西 |
5楼2013-06-18 16:42:46
6楼2013-06-18 23:37:06
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