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沈娟娟

银虫 (正式写手)

[求助] XPS和EDS有什么区别

XPS和EDS有什么区别,是不是都是表征元素含量的。
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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沈娟娟: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 受教了!O(∩_∩)O谢谢 2013-06-18 16:45:54
区别大了。。建议楼主把材料表征的书再好好看看,入射信号,接受信号,目的都不同,EDS是看微区宏观深度的元素种类的,不能定量基本,但是电子束可以聚焦,所以可以得到微区元素分布,XPS是看价态的,必须对样品元素有初步了解才能测,否则精细谱你都不知道怎么取,另外XPS入射信号是X射线,无法聚焦的,只能看到很大表面的信息,但是它分析深度很浅,只有几个nm,就算用离子枪刻蚀也有很多问题,离子枪本来就有还原性,可能改变元素价态的,总之是完全不同的东西
5楼2013-06-18 16:42:46
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