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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » XPS和EDS有什么区别
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沈娟娟

银虫 (正式写手)

[求助] XPS和EDS有什么区别

XPS和EDS有什么区别，是不是都是表征元素含量的。
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1楼 2013-06-16 21:03:26
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YFovY

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

fbqrdzs: 应助指数+1 2013-06-17 08:56:31
但XPS可以刻蚀样品表面测量更深层的元素
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4楼2013-06-17 08:38:04
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材料不好学

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-17 08:56:07
nofrunolif: 2013-06-17 18:27:35
沈娟娟: 金币+1, ★★★很有帮助, O(∩_∩)O谢谢 2013-06-18 16:46:08
相对来说，XPS可以确定化合价的！比如铁有二价，三价！确定所带的电荷数
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蹉跎过，消磨过，最是光阴化浮沫。
2楼2013-06-16 23:15:30
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YFovY

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-17 08:56:17
沈娟娟: 金币+1, ★★★很有帮助, O(∩_∩)O谢谢 2013-06-18 16:46:18
XPS只能测样品表面几个nm的元素
EDS是几百nm
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3楼2013-06-17 08:37:09
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
沈娟娟: 金币+3, ★★★★★最佳答案, 受教了！O(∩_∩)O谢谢 2013-06-18 16:45:54
区别大了。。建议楼主把材料表征的书再好好看看，入射信号，接受信号，目的都不同，EDS是看微区宏观深度的元素种类的，不能定量基本，但是电子束可以聚焦，所以可以得到微区元素分布，XPS是看价态的，必须对样品元素有初步了解才能测，否则精细谱你都不知道怎么取，另外XPS入射信号是X射线，无法聚焦的，只能看到很大表面的信息，但是它分析深度很浅，只有几个nm，就算用离子枪刻蚀也有很多问题，离子枪本来就有还原性，可能改变元素价态的，总之是完全不同的东西
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5楼2013-06-18 16:42:46
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