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ZnO的XPS测试分析 （分峰） 已有1人参与
之前做了一些ZnO的薄膜样品的xps测试。样品有两种:1、纯ZnO 薄膜，2、纯ZnO薄膜上长几纳米厚的NiMgO.（两种样品的ZnO是同一片只不过切开了）薄膜的制备方法都是是脉冲激光沉积PLD。制备样品2时ZnO薄膜被2次加热，且沉积NiMgO的氧压比沉积ZnO 时高很多。
然后做XPS样品1 的Zn2p 3/2 正常，对称性很好。样品2 的Zn2p 3/2 谱不是很对称，审稿人提出质疑，说应该不只是单一的Zn=O 键让我分峰。可是我查阅了很多文献对Zn2p进行分峰的很少，偶尔也有一两篇不是很对称的，可也没有分峰。有一篇说什么可能是Zn间隙，我也不清楚这个说法是否正确。
XPS如图所示
所以请教各位大牛们帮小女子分析一下这到底是什么原因造成。
万分感谢！！
![ZnO的XPS测试分析 （分峰）]()
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