| 查看: 4461 | 回复: 16 | ||||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||||
[交流]
氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗,离子束刻蚀的比较
|
||||||
|
我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀,或者其中的某一个,这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以,我很想知道,这三个有什么区别,都各自用在什么地方,怎么更好的利用这三个仪器。 请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。 |
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
薄膜材料的表征 | 科研设备设施 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
284求调剂
已经有10人回复
一志愿山东大学药学学硕求调剂
已经有4人回复
07化学280分求调剂
已经有4人回复
298-一志愿中国农业大学-求调剂
已经有12人回复
求材料,环境专业调剂
已经有3人回复
335求调剂
已经有5人回复
求调剂
已经有7人回复
一志愿吉大化学322求调剂
已经有4人回复
环境学硕288求调剂
已经有8人回复
341求调剂(一志愿湖南大学070300)
已经有6人回复
» 抢金币啦!回帖就可以得到:
国自然面上祈福
+1/81
有没有在香港的虫友啊
+1/72
催化方向推荐一个极好的博导
+1/32
招收荧光探针/有机合成/生物学 博士后--薪金: 30万-50万
+1/31
从专科一路到211硕士,到TOP5博士,也想进高校体制
+1/30
浙江大学光电学院、极端光学实验室 阿秒方向 招聘科研助理2名
+1/25
中国地质大学(武汉)清洁能源与资源循环团队诚招科研助理/2026级硕士、博士生/博士后
+1/15
新加坡国立大学药学系化学生物学课题组招PhD
+1/10
化学工程与技术 国家双一流学科 211高校 国家重点实验室 博士研究生
+1/9
新加坡国立大学药学系化学生物学课题组招PhD
+1/6
26年申博自荐-计算机视觉
+1/5
211/双一流---石河子大学---有机化学方向招调剂生
+1/5
2026年黄河科技学院纳米功能材料研究所招聘
+2/4
海南师范大学 孙元元老师团队招2026级硕士生2名
+1/4
211/双一流石河子大学化学化工学院--电催化,CO2转化
+1/3
环境工程专业 2026年硕士研究生调剂名额(有学硕1名,专硕2名)
+1/3
欢迎加入赣南师范大学先进光电子研究中心
+1/1
武汉纺织大学纺织纤维及制品教育部重点实验室招收博士研究生
+1/1
211/双一流石河子大学化学化工学院-电池/电催化研究方向
+1/1
湘潭大学教师招聘
+1/1
|
各位回答的都很好,我也自己去调研了一下,得到了如下的结论,和大家一起分享。 一般的刻蚀方法有:反应离子刻蚀RIE,等离子体清洗、刻蚀PE,离子束刻蚀IBE。反应离子刻蚀,顾名思义,就是利用活性气体通过四个过程进行样品表面加工,物理溅射、离子反应、产生自由基、自由基反应。所以RIE可以简单的归纳为离子轰击辅助的化学反应过程。主要控制的参量有反应气体流速、放电功率、反应室气压、样品材料表面温度等。 等离子体清洗、刻蚀Plasma Etching,主要是化学刻蚀,因为样品是放在阳极表面的,而清洗和刻蚀的区别,主要是看阳极板的大小,阳极板大的,用于清洗,阳极板小的用于刻蚀;参数桐RIE类似。 最后的离子束刻蚀是一个纯粹的物理刻蚀过程,一般的气体源都是惰性气体,就是用惰性离子去轰击样品表面,值得注意的是,IBE对金属、光刻胶等的刻蚀速率都很高。不过适当选择离子能量和束流还是可以得到期望的结果的。 |
7楼2013-06-07 12:50:50
2楼2013-06-04 01:54:23
3楼2013-06-04 10:33:12
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2013-06-06 10:52:01













回复此楼