| 查看: 4498 | 回复: 16 | ||||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||||
[交流]
氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较
|
||||||
|
我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀，或者其中的某一个，这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以，我很想知道，这三个有什么区别，都各自用在什么地方，怎么更好的利用这三个仪器。 请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料的表征 | 科研设备设施 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
寻找调剂
已经有8人回复
-
289求调剂
已经有16人回复
-
312求调剂
已经有8人回复
-
263求调剂
已经有10人回复
-
一志愿C9材料与化工专业总分300求调剂
已经有6人回复
-
296求调剂
已经有5人回复
-
0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可
已经有5人回复
-
284求调剂
已经有4人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有12人回复
-
考研调剂
已经有4人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
福建师范大学叶应祥课题组招收2026级博士研究生
+2/122
-
西南交通大学医学院招收生物医学工程和材料与化工专业硕士研究生
+1/85
-
求助有机化学第二版陆阳申东升主编课件或者电子版书籍
+1/85
-
招收调剂生，动物医学专业
+1/84
-
南方医科大学中药学院 调剂硕士生一名 中药学专业
+1/84
-
青岛农业大学海洋学院招调剂硕士研究生
+1/79
-
散金币，求基金中标！！
+1/58
-
招收2026级环境科学方向（专业代码083001）硕士研究生1-2名
+1/47
-
2026 物理方向招收部分调剂
+1/33
-
临沂大学数学与统计学院招2026研究生
+1/30
-
浙江大学光电学院、极端光学实验室 阿秒方向 招聘科研助理2名
+1/15
-
港科大（广州）招收光学传感器，集成电路设计，医学影像设备以及可穿戴设备方向的博士
+1/12
-
武汉工程大学资源生物技术课题组生物/环境/化工/矿冶专业硕士、博士研究生招生及调剂
+1/9
-
中国中医科学院中医药健康产业研究所（江西中医药健康产业研究院）2026年高层次人才等
+1/6
-
澳门理工大学2026人工智能药物发现博士（奖学金+申请考核）
+1/6
-
墨尔本大学伯明翰大学联合全奖国际博士生
+1/5
-
深圳信息职业大学招聘联合培养硕博研究生（急）
+1/3
-
求调剂
+1/2
-
上海交通大学化学化工学院张智涛课题组诚聘博士后
+1/1
-
江苏大学招李毅老师课题组诚招2027届材料类博士生
+1/1
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
|
等离子体刻蚀根据工作气体成分与样品是否作用分为物理溅射刻蚀，化学反应刻蚀和离子辅助刻蚀三类，由于你用的氩气为惰性气体，难以与其他材料发生反应，因此主要是一种物理溅射刻蚀，高能离子或者原子与样品表面碰撞，样品表面结构将会被破坏，样品材料的原子将会从样品表面脱附离开。等离子体刻蚀主要用于抛光或者图形化，这个主要利用的是等离子体中的离子或者一些活性基团，对材料的作用具有一定深度。一般的，抛光的话，对粒子的能量和密度要求可能相对较高，而图形化则相对较低，但是其对粒子的能量和密度的控制要求可能更高，这个得看具体的材料，如金刚石膜的图形化与硅片的图形化就不一样。 等离子体清洗的话，主要是通过等离子体处理样品的表面，这个作用程度相对要弱一点，对粒子的能量和密度要求相对不是很高，主要是为了清理样品表面的污染物或者吸附的其他杂质。 而离子束刻蚀的话，其实很多离子源都是基于等离子体源开发出来的，所以很多文献都将两者混同，只不过每个人的叫法不同而已，刻蚀对象大部分相同。 |
6楼2013-06-07 11:43:01
2楼2013-06-04 01:54:23
3楼2013-06-04 10:33:12
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2013-06-06 10:52:01
