| 查看: 770 | 回复: 3 | ||
[求助]
AlN的沉积问题
|
|
在文献中看到一句话，很不理解，求指教。 背景：磁控溅射，高纯铝为靶，Ar+N2，制备AlN 文章中的原话是： As the chemical reactivity of aluminium with nitrogen is very high, one can therefore use relatively low N2 gas partial pressure in the sputtering gas mixture to deposit nearly pure AlN ceramic by DC reactive sputtering. 求指教： 1：aluminum with nitrogen 是指AlN化合物的活性高，还是说Al在氮气气氛中的活性高？ 2：如果说1中是指后者的话，那应该是用高的N2分压才能制备AlN的；如果1中前者是对的，那如何去控制氮气分压呢？（因为铝靶还是很容易被溅射的） 多谢大家~ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有65人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 电沉积纳米金修饰Pt电极的一些小问题
已经有15人回复
- 王水消解沉积物ICP-MS测汞的问题
已经有17人回复
- 灰沉积问题 为什么不能在fluent 中显示计算结果
已经有3人回复
- 请教电沉积氧化锌的几个问题（退火和颜色）
已经有3人回复
- 请教关于电化学沉积铁纳米线的问题
已经有8人回复
- 讨论！电沉积（电解）中关于 阳极析氧 问题
已经有21人回复
- 光沉积（Photodeposition）的原理问题
已经有8人回复
- 沉积物总磷测定的回收率问题
已经有4人回复
- 关于原子吸收分光光度法检测沉积物和海水的检出限问题
已经有7人回复
- 跪求恒电流电沉积槽电压问题
已经有20人回复
- 【求助】关于沉积沉淀法（deposition-precipitation）制备CeO2/ZrO2的问题
已经有8人回复
- 【求助】在铂微电极沉积金的过程中出现的问题
已经有5人回复
- 【求助】聚苯胺电沉积-问题已解决，封贴，谢谢大家
已经有27人回复
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14721.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
2楼2013-05-21 16:19:59
3楼2013-05-21 17:23:25
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14721.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
4楼2013-05-21 22:03:35
