| 查看: 501 | 回复: 1 | ||
guzhiqing金虫 (正式写手)
|
[求助]
射频磁控溅射偏压电流示数出问题？电压示数正常
|
|
射频磁控溅射时，在某一个靶位溅射时加直流偏压。偏压示数正常负40，电流示数几乎无变化，在5mA左右。转到其它靶位溅射一切都正常，电流25mA，偏压负40，转动调节按钮，电流电压示数都变动。请问这是什么原因？ [ Last edited by guzhiqing on 2013-5-15 at 15:05 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
大连海事大学智能机器人及人工智能团队 空余博士名额1个
已经有0人回复
-
【调剂】0856材料287分，一志愿哈工大，求A区材料相关调剂
已经有4人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有52人回复
-
大连海事大学人工智能学院招收2026年4月申请-考核制的博士生补录取
已经有0人回复
-
大连海事大学人工智能学院招收2026申请-考核制的博士生补录取
已经有2人回复
-
东南大学364求调剂
已经有5人回复
-
中国科技大学核科学技术学院工程博士复试的经验
已经有0人回复
-
pva水凝胶电池
已经有0人回复
-
上海高校教授长年招收硕士和博士研究生-动力工程与工程热物理
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射镀镍，出现起辉两分钟后，自动电压、电流跳零，这是为什么？
已经有6人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 【交流】咨询磁控溅射负偏压问题
已经有5人回复
mzhuxust
木虫 (小有名气)
- 应助: 67 (初中生)
- 金币: 2630.6
- 红花: 8
- 帖子: 297
- 在线: 150.7小时
- 虫号: 2296404
- 注册: 2013-02-24
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2013-05-17 05:48:48
