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guzhiqing金虫 (正式写手)
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射频磁控溅射偏压电流示数出问题？电压示数正常
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射频磁控溅射时，在某一个靶位溅射时加直流偏压。偏压示数正常负40，电流示数几乎无变化，在5mA左右。转到其它靶位溅射一切都正常，电流25mA，偏压负40，转动调节按钮，电流电压示数都变动。请问这是什么原因？ [ Last edited by guzhiqing on 2013-5-15 at 15:05 ] |
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mzhuxust
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2楼2013-05-17 05:48:48