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guzhiqing

金虫 (正式写手)

[求助] 射频磁控溅射偏压电流示数出问题？电压示数正常

射频磁控溅射时，在某一个靶位溅射时加直流偏压。偏压示数正常负40，电流示数几乎无变化，在5mA左右。转到其它靶位溅射一切都正常，电流25mA，偏压负40，转动调节按钮，电流电压示数都变动。请问这是什么原因？

[ Last edited by guzhiqing on 2013-5-15 at 15:05 ]
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1楼 2013-05-15 14:46:31
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-05-17 12:38:56
guzhiqing: 金币+10, ★有帮助, 谢谢！线是接在大转盘上的，我把加热把拆了，重按就好了，应该是镀膜镀久了，接触不好了。 2013-05-31 10:37:01
检查一下电流出问题的靶位，看是不是线没有接好。其他靶位都正常，应该电源没有问题。
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2楼2013-05-17 05:48:48
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