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risktaker111

金虫 (正式写手)

[求助] 厚度对溅射薄膜结晶性影响

厚度对溅射薄膜结晶性影响

本人最近看了一些 关于厚度对溅射薄膜结晶性影响的文献,基本上都是结晶性在提高,但是我认为,一般溅射薄膜的结晶性不可能随着厚度的增大无限提高吧,总有一个最大值吧,增大一定程度后,结晶性趋向于平衡或下降了,否则无限提高就变成单晶了。但是找到类似结晶性最后趋向于平衡或下降了的文献,所以那位好虫友提供几篇类似的文献呀,不胜感激!
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154696523

金虫 (著名写手)

正能量使者

【答案】应助回帖

★ ★
risktaker111: 金币+2, 博学EPI+1, 有帮助, 谢谢 2013-05-06 08:12:31
薄膜结晶性主要跟衬底温度有关,温度越高结晶性越好;厚度越大可能会使某写粒径变大,对结晶性整体影响不大
Positive energy makes life better
2楼2013-05-05 10:59:41
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