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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 关于光刻问题
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miaobotong

铜虫 (小有名气)

[交流] 关于光刻问题

请问光刻甩胶机现在国内能做到的样品最小尺寸是多少？另外，光刻是否对样品的形状有要求？
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1楼 2013-05-05 08:45:38
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hwathon

捐助贵宾 (小有名气)
★
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样品最小尺寸：down to 5mm[参考MYCRO MSC-650-23N甩胶机，NXQ-4006光刻机];
对样品形状的要求： 小尺寸（Piece的形状可以订制），大尺寸（常规的都是圆形，如wafer）；
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2楼2013-05-07 09:25:47
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miaobotong

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hwathon at 2013-05-07 09:25:47
样品最小尺寸：down to 5mm;
对样品形状的要求： 小尺寸（Piece的形状可以订制），大尺寸（常规的都是圆形，如wafer）；

谢谢，麻烦能给个连接，或说明书吗？我查到的是6英寸和8英寸的，没有找到更小的？miaobotong@163.com
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3楼2013-05-07 10:11:29
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