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关于光刻问题
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miaobotong
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虫号: 1743921
[交流]
关于光刻问题
请问光刻甩胶机现在国内能做到的样品最小尺寸是多少?另外,光刻是否对样品的形状有要求?
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2013-05-05 08:45:38
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hwathon
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
样品最小尺寸:down to 5mm[参考MYCRO MSC-650-23N甩胶机,NXQ-4006光刻机];
对样品形状的要求: 小尺寸(Piece的形状可以订制),大尺寸(常规的都是圆形,如wafer);
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2楼
2013-05-07 09:25:47
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miaobotong
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引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
hwathon
at 2013-05-07 09:25:47
样品最小尺寸:down to 5mm;
对样品形状的要求: 小尺寸(Piece的形状可以订制),大尺寸(常规的都是圆形,如wafer);
谢谢,麻烦能给个连接,或说明书吗?我查到的是6英寸和8英寸的,没有找到更小的?
miaobotong@163.com
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3楼
2013-05-07 10:11:29
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