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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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miaobotong

铜虫 (小有名气)


[交流] 关于光刻问题

请问光刻甩胶机现在国内能做到的样品最小尺寸是多少?另外,光刻是否对样品的形状有要求?
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hwathon

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样品最小尺寸:down to 5mm[参考MYCRO MSC-650-23N甩胶机,NXQ-4006光刻机];
对样品形状的要求: 小尺寸(Piece的形状可以订制),大尺寸(常规的都是圆形,如wafer);
2楼2013-05-07 09:25:47
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miaobotong

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by hwathon at 2013-05-07 09:25:47
样品最小尺寸:down to 5mm;
对样品形状的要求: 小尺寸(Piece的形状可以订制),大尺寸(常规的都是圆形,如wafer);

谢谢,麻烦能给个连接,或说明书吗?我查到的是6英寸和8英寸的,没有找到更小的?miaobotong@163.com
3楼2013-05-07 10:11:29
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