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chenxingkuan

木虫 (正式写手)

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[求助] 用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么? 已有1人参与

用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么?单晶,多晶还是非晶?应该是致密相吗?
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一杯香茗,一卷书,偷得半日闲散;一抹斜阳,一壶酒,愿求半世逍遥
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zzkejing

禁虫 (正式写手)

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2楼2014-06-24 22:13:05
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