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用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2，得到的SiO2物相是什么？ 已有1人参与
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用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2，得到的SiO2物相是什么？单晶，多晶还是非晶？应该是致密相吗？ |
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