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用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么? 已有1人参与
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| 用PECVD方法在Si基底上沉积SiO2,得到的SiO2物相是什么?单晶,多晶还是非晶?应该是致密相吗? |
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2楼2014-06-24 22:13:05










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