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我心善良

新虫 (初入文坛)

[求助] 沉积速率对TiN薄膜性能的影响

要做一个  沉积速率对TiN薄膜性能的影响 相关的报告  求大神们给我个步骤建议
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csuchenli927

金虫 (小有名气)

沉积速率影响沉积粒子的表面扩散能力 影响晶体取向 从而影响力学性能 如果速度太高 也会影响薄膜致密度 已经很多文章研究过了
2楼2013-03-15 18:50:12
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我心善良

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by csuchenli927 at 2013-03-15 18:50:12
沉积速率影响沉积粒子的表面扩散能力 影响晶体取向 从而影响力学性能 如果速度太高 也会影响薄膜致密度 已经很多文章研究过了

谢谢啦  我还是个菜鸟、、、不懂的太多了、、、
3楼2013-03-16 17:27:32
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