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我心善良

新虫 (初入文坛)

应助: 4 (幼儿园)
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虫号: 2336575
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专业: 功能陶瓷

[求助] 沉积速率对TiN薄膜性能的影响

要做一个沉积速率对TiN薄膜性能的影响相关的报告求大神们给我个步骤建议

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1楼 2013-03-15 11:59:28

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

csuchenli927

金虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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专业: 金属材料表面科学与工程

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2楼2013-03-15 18:50:12

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我心善良

新虫 (初入文坛)

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注册: 2013-03-11
专业: 功能陶瓷

引用回帖:

2楼: Originally posted by csuchenli927 at 2013-03-15 18:50:12
沉积速率影响沉积粒子的表面扩散能力影响晶体取向从而影响力学性能如果速度太高也会影响薄膜致密度已经很多文章研究过了

谢谢啦我还是个菜鸟、、、不懂的太多了、、、

3楼2013-03-16 17:27:32

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