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磁控溅射氧化锌
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求助！ 磁控溅射氧化锌的参数，设备LAB18。 还有就是如果溅射的厚度达到了预期，但是因电阻率太大测量不出来，和溅射的参数哪些有关系呢？氧氩比是1:4. |
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