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李超001

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氧化锌

求助!
磁控溅射氧化锌的参数,设备LAB18。

还有就是如果溅射的厚度达到了预期,但是因电阻率太大测量不出来,和溅射的参数哪些有关系呢?氧氩比是1:4.
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