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薄膜材料的介电测试
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| 本人是用铜线连接探针台和安捷伦4294阻抗仪来测试薄膜的介电谱图,测试结果象地震波一样乱,请问是什么原因呢?是薄膜制备不好,还是仪器连接有问题呢?并且用铁电仪测薄膜的漏电流也是很乱,上下波动很大,问题出在哪儿呢? |
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