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铁电薄膜材料的电性能测试 已有1人参与
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求助做铁电薄膜的童鞋们，在pt/Ti/SiO2/Si上悬涂制备BFO薄膜要测试电滞回线时，怎样盖住底电极pt，有的文献说用掩膜版盖住4个角，那么掩膜版和衬底在悬涂时如何结合？ 我用胶带盖住一个边是否可行？ 然后用掩膜版法蒸度直接非常小的顶电极，然后测试。 也有的文献说不用盖住底电极，直接在涂好的BFO薄膜上用掩膜版制备一个面积大的顶电极和直径很小顶电极，然后测试。 请问，第一个方法怎样能够方便并好的盖住底电极pt？ 上面两个测试方法，哪个更好？ 有知道卖掩膜版的地方吗？ 谢谢大家 了！ |
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