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kitee41

禁虫 (小有名气)

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辽宁号

木虫 (著名写手)

航空母舰舰长

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+4, 3q 2013-03-09 02:52:47
一般能同质外延的都尽量同质外延了。
异质外延一般是找不到同质衬底,或同质衬底的导电、导热等特性不满足器件的要求等。异质外延容易产生位错等缺陷,这一般通过在异质衬底和外延膜之间引入缓冲层、中间层等技术来解决。
自由水世界
7楼2013-03-08 09:04:58
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-03-09 02:51:51
外延:是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。
同质外延:生长外延层和衬底是同一种材料,这种工艺就是同质外延;这类工艺简单,但成本较高。
异质外延:外延生长的薄膜材料和衬底材料不同,或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层,相应的工艺就叫做异质外延;这类工艺复杂、成本较低。
宁可心在江湖言江湖,不可身在江湖怨江湖!
2楼2013-03-07 16:37:36
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dhc198611

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lg2880 at 2013-03-07 16:37:36
外延:是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。
同质外延:生长外延层和衬底是同一种材料,这种工艺就是同质外延;这类工艺简单,但成本较高。
异质外延:外延生长的薄膜材料和衬底材料不同,或者说 ...

弱弱的问一下,同质外延工艺简单,为什么成本较高,而异质外延工艺复杂,为什么其成本较低呢?初学材料生长有些地方不太明白!
科研无止境
3楼2013-03-07 19:05:03
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kitee41

禁虫 (小有名气)

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4楼2013-03-07 20:19:03
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