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xige

铁虫 (正式写手)

[求助] GaN外延成长在蓝宝石上晶体匹配发生什么变化

GaN外延成长在蓝宝石上晶体匹配发生什么变化
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xige
1楼 2013-01-08 21:57:35
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drg1984

荣誉版主 (著名写手)

奋斗

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xige: 金币+10, ★★★很有帮助, good 2013-01-10 22:28:57
如果是长在c面蓝宝石上，那么实际失配度为14%

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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春有百花秋有月，夏有凉风冬有雪。若无闲事挂心头，便是人间好时节。
2楼2013-01-09 09:02:06
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xige

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by drg1984 at 2013-01-09 09:02:06
如果是长在c面蓝宝石上，那么实际失配度为14%

谢谢啦，能不能再详细一点，要写一段心得，我不是很了解。
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xige
3楼2013-01-10 22:20:41
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jqb040789

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xige: 金币+10, ★★★很有帮助, good 2013-01-12 20:03:54
xige: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-07-09 16:07:52
蓝宝石和GaN的晶格常数不一样，所以会导致GaN外延层里面有晶体缺陷，比如一些刃位错螺位错之类的，晶格失配导致蓝宝石上外延GaN层中有应变的存在，应变累积到一定程度，就是说外延GaN厚到一程度会导致外延层出现裂纹。所以，关键词就是，晶体缺陷还有应变应力存在。
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4楼2013-01-10 23:09:44
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