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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 请教同质外延及异质外延的不同
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kitee41

禁虫 (小有名气)
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1楼 2013-03-07 14:47:21
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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-03-09 02:51:51
外延：是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。
同质外延：生长外延层和衬底是同一种材料，这种工艺就是同质外延；这类工艺简单，但成本较高。
异质外延：外延生长的薄膜材料和衬底材料不同，或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层，相应的工艺就叫做异质外延；这类工艺复杂、成本较低。
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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！
2楼2013-03-07 16:37:36
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dhc198611

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lg2880 at 2013-03-07 16:37:36
外延：是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。
同质外延：生长外延层和衬底是同一种材料，这种工艺就是同质外延；这类工艺简单，但成本较高。
异质外延：外延生长的薄膜材料和衬底材料不同，或者说 ...

弱弱的问一下，同质外延工艺简单，为什么成本较高，而异质外延工艺复杂，为什么其成本较低呢？初学材料生长有些地方不太明白！
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科研无止境
3楼2013-03-07 19:05:03
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kitee41

禁虫 (小有名气)
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4楼2013-03-07 20:19:03
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milanvsmilan

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-03-09 02:52:20
一般来说，外延基本是同质外延

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2013-03-07 23:06:18
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匿名

用户注销 (职业作家)
★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+1, 3q 2013-03-09 02:52:27
本帖仅楼主可见
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6楼2013-03-08 08:45:26
已阅   申请物理EPI   编辑   查看我的主页

辽宁号

木虫 (著名写手)

航空母舰舰长

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+4, 3q 2013-03-09 02:52:47
一般能同质外延的都尽量同质外延了。
异质外延一般是找不到同质衬底，或同质衬底的导电、导热等特性不满足器件的要求等。异质外延容易产生位错等缺陷，这一般通过在异质衬底和外延膜之间引入缓冲层、中间层等技术来解决。
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自由水世界
7楼2013-03-08 09:04:58
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kitee41

禁虫 (小有名气)
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8楼2013-09-07 11:17:28
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