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kitee41

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1楼 2013-03-07 14:47:21

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lg2880

铁杆木虫 (正式写手)

【鬼迷日眼】

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
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华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-03-09 02:51:51

外延：是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。
同质外延：生长外延层和衬底是同一种材料，这种工艺就是同质外延；这类工艺简单，但成本较高。
异质外延：外延生长的薄膜材料和衬底材料不同，或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层，相应的工艺就叫做异质外延；这类工艺复杂、成本较低。

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宁可心在江湖言江湖，不可身在江湖怨江湖！

2楼2013-03-07 16:37:36

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dhc198611

木虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by lg2880 at 2013-03-07 16:37:36
外延：是指在单晶衬底上、按衬底晶向生长单晶薄膜的工艺过程。
同质外延：生长外延层和衬底是同一种材料，这种工艺就是同质外延；这类工艺简单，但成本较高。
异质外延：外延生长的薄膜材料和衬底材料不同，或者说 ...

弱弱的问一下，同质外延工艺简单，为什么成本较高，而异质外延工艺复杂，为什么其成本较低呢？初学材料生长有些地方不太明白！

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科研无止境

3楼2013-03-07 19:05:03

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