| 查看: 2654 | 回复: 23 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
溅射的靶材烧成这样子，请各位帮我看看是什么原因
|
||
我的靶材是NiMnGa合金，直流电源功率是100W，溅射气压0.5Pa。本来是打算溅射1h，结果才溅射了30min，机器就提示没有等离子体了，无法完成程序。打开腔室，取下靶材就发现变成烧成如图的模样了。另外我放了NaCl，硅片，玻璃，旋涂了PMMA的硅片，还有云母片这几种衬底放在托盘上待沉积。 20130306_162704.jpg  20130306_162618.jpg |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
dearhanzi» 猜你喜欢
药学硕士，第一、第二作者已发表6 篇 SCI，药理方向及相关方向2026年/2027年博士申请
已经有6人回复
-
一篇MDPI论文改变了学习工作和生活
已经有5人回复
-
26年博士申请自荐-电催化
已经有3人回复
-
中国地质大学（北京）博士招生补录，数理学院材料科学与工程专业和材料与化工专业
已经有6人回复
-
收到国自然专家邀请后几年才会有本子送过来评
已经有4人回复
-
考博
已经有5人回复
-
26年申博自荐-计算机视觉
已经有4人回复
-
药化及相关博士的申请
已经有3人回复
chery2005
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 374.8
- 帖子: 27
- 在线: 32.8小时
- 虫号: 1526754
- 注册: 2011-12-06
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
21楼2013-06-17 12:46:40
2楼2013-03-07 00:05:02
3楼2013-03-07 14:02:59
4楼2013-03-07 14:06:37