24小时热门版块排行榜    

查看: 1276  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

335154355

金虫 (小有名气)

[交流] 关于紫外光刻的技术问题 已有4人参与

我用紫外正型光刻胶旋涂到玻片上,曝光一定时间后,氢氧化钠水溶液显影,想做出凸起和凹槽等宽的间隔条带,结果做出的凹槽和凸起部分上下不一样粗细,请高手赐教,为什么啊?

图片1.png
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

335154355

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by moon0229 at 2014-01-14 16:43:50
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??

我已经没有在做了,谢谢你的回复哦
6楼2014-01-15 18:27:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

willbuilder

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

博观约取,厚积薄发
2楼2013-02-26 22:30:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

335154355

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by willbuilder at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

光源是一个长形的紫外灯光
3楼2013-02-27 14:16:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

335154355

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by willbuilder at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

是不是和光源有关系啊?
4楼2013-02-27 14:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] filecode +7 cratir 2026-08-14 11/550 2026-08-15 06:19 by 学员8dgXkO
[考研] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 6/300 2026-08-15 04:21 by 4wMiSEwB6436
[找工作] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 4/200 2026-08-15 02:21 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +11 Tide man 2026-08-10 12/600 2026-08-15 02:12 by home3163
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 4/200 2026-08-15 01:28 by 4wMiSEwB6436
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 7/350 2026-08-15 00:40 by 4wMiSEwB6436
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 HFw0lei2R37i 2026-08-14 8/400 2026-08-15 00:16 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[教师之家] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-14 22:32 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +6 majunge000 2026-08-11 8/400 2026-08-14 14:44 by 医学老男孩
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见