24小时热门版块排行榜    

查看: 1270  |  回复: 7

335154355

金虫 (小有名气)

[交流] 关于紫外光刻的技术问题 已有4人参与

我用紫外正型光刻胶旋涂到玻片上,曝光一定时间后,氢氧化钠水溶液显影,想做出凸起和凹槽等宽的间隔条带,结果做出的凹槽和凸起部分上下不一样粗细,请高手赐教,为什么啊?

图片1.png
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

willbuilder

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

博观约取,厚积薄发
2楼2013-02-26 22:30:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

335154355

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by willbuilder at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

光源是一个长形的紫外灯光
3楼2013-02-27 14:16:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

335154355

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by willbuilder at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

是不是和光源有关系啊?
4楼2013-02-27 14:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

moon0229

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??
不要迷失自己·
5楼2014-01-14 16:43:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

335154355

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by moon0229 at 2014-01-14 16:43:50
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??

我已经没有在做了,谢谢你的回复哦
6楼2014-01-15 18:27:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjscl2009

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by moon0229 at 2014-01-14 16:43:50
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??

求教紫外汞灯在曝光过程中曝光高度多少,衍射效应会比较明显??
7楼2014-02-11 19:41:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

黄治浩

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
前烘,曝光时间,温度,坚膜都可能有影响,多试几次
风继续吹
8楼2015-07-14 22:32:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 335154355 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 5/250 2026-08-15 00:52 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 22/1100 2026-08-14 23:45 by Noways
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +23 医学老男孩 2026-08-13 49/2450 2026-08-14 20:02 by zhaifei
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +5 Ldrop2023 2026-08-13 5/250 2026-08-14 18:48 by ssxclkj
[基金申请] filecode +6 cratir 2026-08-14 10/500 2026-08-14 18:29 by 笑叹辞穷
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[基金申请] 好奇怪的filecode +6 布布和一二 2026-08-08 7/350 2026-08-14 13:38 by Equinoxhua
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
信息提示
请填处理意见