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关于紫外光刻的技术问题
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关于紫外光刻的技术问题
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我用紫外正型光刻胶旋涂到玻片上,曝光一定时间后,氢氧化钠水溶液显影,想做出凸起和凹槽等宽的间隔条带,结果做出的凹槽和凸起部分上下不一样粗细
,请高手赐教,为什么啊?
图片1.png
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2013-02-26 18:50:32
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moon0229
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胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??
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不要迷失自己·
5楼
2014-01-14 16:43:50
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willbuilder
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你是怎么曝光的,用的是平行光吗?
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335154355
博观约取,厚积薄发
2楼
2013-02-26 22:30:41
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2楼
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willbuilder
at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?
光源是一个长形的紫外灯光
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3楼
2013-02-27 14:16:06
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2楼
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willbuilder
at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?
是不是和光源有关系啊?
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4楼
2013-02-27 14:38:34
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