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金虫 (小有名气)

[交流] 关于紫外光刻的技术问题 已有4人参与

我用紫外正型光刻胶旋涂到玻片上,曝光一定时间后,氢氧化钠水溶液显影,想做出凸起和凹槽等宽的间隔条带,结果做出的凹槽和凸起部分上下不一样粗细,请高手赐教,为什么啊?

图片1.png
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willbuilder

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

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博观约取,厚积薄发
2楼2013-02-26 22:30:41
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335154355

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by willbuilder at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

光源是一个长形的紫外灯光
3楼2013-02-27 14:16:06
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335154355

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by willbuilder at 2013-02-26 22:30:41
你是怎么曝光的,用的是平行光吗?

是不是和光源有关系啊?
4楼2013-02-27 14:38:34
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moon0229

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??
不要迷失自己·
5楼2014-01-14 16:43:50
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335154355

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by moon0229 at 2014-01-14 16:43:50
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??

我已经没有在做了,谢谢你的回复哦
6楼2014-01-15 18:27:07
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wjscl2009

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by moon0229 at 2014-01-14 16:43:50
胶有多厚?你考虑了光在光刻胶中的衍射效应吗??

求教紫外汞灯在曝光过程中曝光高度多少,衍射效应会比较明显??
7楼2014-02-11 19:41:55
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黄治浩

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
前烘,曝光时间,温度,坚膜都可能有影响,多试几次
风继续吹
8楼2015-07-14 22:32:26
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