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kayking0903

至尊木虫 (正式写手)

[交流] Si基片质量与XRD衍射峰的关系 已有2人参与

是不是特定取向的Si基片(比如Si(100)、Si(111))的XRD衍射峰越少越好,比如Si(100)要是只有69度的衍射峰就说明基片做质量很好,要是有多个衍射峰就说基片质量差,求大神解答!
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icm639

至尊木虫 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
linhua0402313: 金币+1, 感谢回帖交流,欢饮常来晶体版 2013-01-23 08:13:58
可以这么说 还要看rocking curve的半高宽数值
2楼2013-01-22 23:23:42
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feiepeng

金虫 (小有名气)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
只看XRD的话是很难说的,以前同一个晶片里,分成若干片,我就见过有的只有69的衍射峰,有的则会出现对应的映像峰
roc
3楼2013-01-23 16:37:43
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