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Si基片质量与XRD衍射峰的关系
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kayking0903
至尊木虫
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[交流]
Si基片质量与XRD衍射峰的关系
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是不是特定取向的Si基片(比如Si(100)、Si(111))的XRD衍射峰越少越好,比如Si(100)要是只有69度的衍射峰就说明基片做质量很好,要是有多个衍射峰就说基片质量差,求大神解答!
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linhua0402313: 金币+1, 感谢回帖交流,欢饮常来晶体版
2013-01-23 08:13:58
可以这么说 还要看rocking curve的半高宽数值
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2013-01-22 23:23:42
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只看XRD的话是很难说的,以前同一个晶片里,分成若干片,我就见过有的只有69的衍射峰,有的则会出现对应的映像峰
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roc
3楼
2013-01-23 16:37:43
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