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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » Si基片质量与XRD衍射峰的关系
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kayking0903

至尊木虫 (正式写手)

[交流] Si基片质量与XRD衍射峰的关系 已有2人参与

是不是特定取向的Si基片（比如Si（100）、Si（111））的XRD衍射峰越少越好，比如Si（100）要是只有69度的衍射峰就说明基片做质量很好，要是有多个衍射峰就说基片质量差，求大神解答！
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1楼 2013-01-21 16:59:34
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feiepeng

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
只看XRD的话是很难说的，以前同一个晶片里，分成若干片，我就见过有的只有69的衍射峰，有的则会出现对应的映像峰
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roc
3楼2013-01-23 16:37:43
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icm639

至尊木虫 (知名作家)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
linhua0402313: 金币+1, 感谢回帖交流，欢饮常来晶体版 2013-01-23 08:13:58
可以这么说 还要看rocking curve的半高宽数值
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-22 23:23:42
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