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还是氮气流速问题
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当打开氮气后，工作界面上显示载气流速为70左右（设置为60）单位是arb，工作过程中多次提示载气流量过低，拔下载气接口（见附图），插入水中，流量明显不低；当关闭总阀，待压力表降至0，再拔下载气接口，插入水中，流量为0，但是工作界面显示为67左右。 请教大家：这是怎么回事？  20130116310.JPG |
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valley_chow
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