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黎露

木虫 (正式写手)

[求助] 薄膜材料的XRD测试对薄膜厚度有什么要求

在普通玻璃基底上旋涂一层薄膜后,要进行XRD测试,对膜层厚度有什么要求?另外,测试薄膜XRD时还需要注意哪些东西。谢谢大家!
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xiao lu
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macaibin

禁虫 (著名写手)

本帖内容被屏蔽

8楼2013-01-17 17:08:49
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
黎露: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-01-08 08:42:25
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-08 09:31:01
我是一般在单晶硅片上外延的,对于单晶衍射仪来说,50nm以上的峰都比较好,~20nm的,有峰,但是会展宽,小于20nm就很难测得出来了。对于粉末多晶衍射仪应该也是差不多。你是在玻璃基底上长的,要是是单晶的话,应该是一样的道理
奋斗。。。
2楼2013-01-07 23:34:07
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黎露

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-01-07 23:34:07
我是一般在单晶硅片上外延的,对于单晶衍射仪来说,50nm以上的峰都比较好,~20nm的,有峰,但是会展宽,小于20nm就很难测得出来了。对于粉末多晶衍射仪应该也是差不多。你是在玻璃基底上长的,要是是单晶的话,应该 ...

谢谢!
xiao lu
3楼2013-01-08 08:43:05
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ltyz

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-08 12:06:54
黎露: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-01-11 08:28:13
一层膜厚由自己的旋涂工艺决定,要么多长几层,要么采用高分辨率,扫慢一点
一份耕耘一份收获
4楼2013-01-08 10:55:26
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