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黎露

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[求助] 薄膜材料的XRD测试对薄膜厚度有什么要求

在普通玻璃基底上旋涂一层薄膜后，要进行XRD测试，对膜层厚度有什么要求？另外，测试薄膜XRD时还需要注意哪些东西。谢谢大家！

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薄膜材料和器件表征

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xiao lu

1楼2013-01-07 11:27:20

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月下冰魂

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【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
黎露: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-01-08 08:42:25
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-08 09:31:01

我是一般在单晶硅片上外延的，对于单晶衍射仪来说，50nm以上的峰都比较好，~20nm的，有峰，但是会展宽，小于20nm就很难测得出来了。对于粉末多晶衍射仪应该也是差不多。你是在玻璃基底上长的，要是是单晶的话，应该是一样的道理

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奋斗。。。

2楼2013-01-07 23:34:07

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黎露

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引用回帖:

2楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-01-07 23:34:07
我是一般在单晶硅片上外延的，对于单晶衍射仪来说，50nm以上的峰都比较好，~20nm的，有峰，但是会展宽，小于20nm就很难测得出来了。对于粉末多晶衍射仪应该也是差不多。你是在玻璃基底上长的，要是是单晶的话，应该 ...

谢谢！