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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜材料的XRD测试对薄膜厚度有什么要求
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黎露

木虫 (正式写手)

[求助] 薄膜材料的XRD测试对薄膜厚度有什么要求

在普通玻璃基底上旋涂一层薄膜后，要进行XRD测试，对膜层厚度有什么要求？另外，测试薄膜XRD时还需要注意哪些东西。谢谢大家！
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xiao lu
1楼 2013-01-07 11:27:20
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黎露

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2013-01-07 23:34:07
我是一般在单晶硅片上外延的，对于单晶衍射仪来说，50nm以上的峰都比较好，~20nm的，有峰，但是会展宽，小于20nm就很难测得出来了。对于粉末多晶衍射仪应该也是差不多。你是在玻璃基底上长的，要是是单晶的话，应该 ...

谢谢！
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xiao lu
3楼2013-01-08 08:43:05
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
黎露: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-01-08 08:42:25
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-08 09:31:01
我是一般在单晶硅片上外延的，对于单晶衍射仪来说，50nm以上的峰都比较好，~20nm的，有峰，但是会展宽，小于20nm就很难测得出来了。对于粉末多晶衍射仪应该也是差不多。你是在玻璃基底上长的，要是是单晶的话，应该是一样的道理
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奋斗。。。
2楼2013-01-07 23:34:07
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ltyz

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-08 12:06:54
黎露: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-01-11 08:28:13
一层膜厚由自己的旋涂工艺决定，要么多长几层，要么采用高分辨率，扫慢一点
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一份耕耘一份收获
4楼2013-01-08 10:55:26
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-01-08 12:07:06
黎露: 金币+1 2013-01-11 08:28:36
最好厚一些，否则可能淹没在基底的背景中
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麦麦爸爸爱小牛
5楼2013-01-08 12:06:25
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