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电镜观察样品断面的技巧
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lootus
木虫
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专业: 有机高分子功能材料
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电镜观察样品断面的技巧
我先介绍下样品,硅片表面有一层微相分离的聚合物薄膜,膜厚约130nm,薄膜具有片层纳米结构,尺寸约40nm,用扫描电镜完全可以直接观察样品表面的纳米结构。
希望看这种纳米结构是否贯穿于整个膜厚(130nm),所以要看断面。我目前是直接将硅片裂开,选比较整齐的断面,直接观察。这样只能看到这一层薄膜的存在,完全无法观察到断面的细节(40nm左右的结构)。
请问有什么好办法?包括制样和观察。谢谢!
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1楼
2012-12-28 10:07:06
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myh_ht
禁虫
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7楼
2012-12-29 21:41:14
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snjnujady
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专业: 高分子合成化学
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2012-12-29 10:46:57
不知道原子力显微镜能不能帮到你,可以看三维形貌的
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2楼
2012-12-28 11:52:54
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todouwei
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虫号: 526202
注册: 2008-03-16
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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lootus: 金币+2
2012-12-29 08:47:23
fyjqt: 金币+1, 应助奖励~
2012-12-29 10:47:03
透射电镜可以解决你的烦恼,但磨断面又是一件比较烦恼的事
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3楼
2012-12-28 12:30:58
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lootus
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3楼
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Originally posted by
todouwei
at 2012-12-28 12:30:58
透射电镜可以解决你的烦恼,但磨断面又是一件比较烦恼的事
透射电镜制样也是很麻烦的啊,有没有什么好办法制样?要看断面。谢谢
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4楼
2012-12-29 08:48:41
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