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lootus

木虫 (小有名气)

[求助] 电镜观察样品断面的技巧

我先介绍下样品,硅片表面有一层微相分离的聚合物薄膜,膜厚约130nm,薄膜具有片层纳米结构,尺寸约40nm,用扫描电镜完全可以直接观察样品表面的纳米结构。
希望看这种纳米结构是否贯穿于整个膜厚(130nm),所以要看断面。我目前是直接将硅片裂开,选比较整齐的断面,直接观察。这样只能看到这一层薄膜的存在,完全无法观察到断面的细节(40nm左右的结构)。
请问有什么好办法?包括制样和观察。谢谢!
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todouwei

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lootus: 金币+2 2012-12-29 08:47:23
fyjqt: 金币+1, 应助奖励~ 2012-12-29 10:47:03
透射电镜可以解决你的烦恼,但磨断面又是一件比较烦恼的事
3楼2012-12-28 12:30:58
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snjnujady

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
fyjqt: 金币+1, 应助奖励~ 2012-12-29 10:46:57
不知道原子力显微镜能不能帮到你,可以看三维形貌的
2楼2012-12-28 11:52:54
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lootus

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by todouwei at 2012-12-28 12:30:58
透射电镜可以解决你的烦恼,但磨断面又是一件比较烦恼的事

透射电镜制样也是很麻烦的啊,有没有什么好办法制样?要看断面。谢谢
4楼2012-12-29 08:48:41
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sky_fisher

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
打印成表格纸,进行衡量比较简单,或者相关软件
5楼2012-12-29 09:40:53
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