24小时热门版块排行榜    

查看: 3727  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

顽皮豹

银虫 (小有名气)

[求助] 怎样判断硅片表面清洗干净? 已有1人参与

各位大侠:在单晶硅清洗过程中,如何判断硅片表面是否还残留有有机物和金属杂质污染,重点是有机物,除用肉眼观察外,还可以有什么具体的方法,求各位高人指教。谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

天行健君子以自强不息,地势坤君子以厚德载物
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

顽皮豹

银虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by darlingllw at 2012-12-18 15:19:34
一般用RCA1+RCA2溶液来清洗硅片表面,RCA1配方:氨水:双氧水:水=1:1:5,其作用主要是去除有机沾污,当然还可以在RCA1之前再加一步浓硫酸双氧水清洗,可以把有机物去除得更干净。

经5%左右HF浸洗后,如果硅片 ...

嗯,谢谢,5%的HF清洗是不是浓度有点大?
天行健君子以自强不息,地势坤君子以厚德载物
7楼2012-12-19 11:08:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

w共xi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
天也潇潇: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-14 21:31:31
一般经过浓硫酸、双氧水的氧化之后有机物应该除去了,关于检测有机物残留的方法很少有涉及到,更多的是后面对氧化层的一个处理,一般使用HF擦洗。你可以多看一下专利文献中关于硅片清洗的专利之类。
在科学的海边,匍匐前进。
2楼2012-12-13 16:43:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

顽皮豹

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by w共xi at 2012-12-13 16:43:25
一般经过浓硫酸、双氧水的氧化之后有机物应该除去了,关于检测有机物残留的方法很少有涉及到,更多的是后面对氧化层的一个处理,一般使用HF擦洗。你可以多看一下专利文献中关于硅片清洗的专利之类。

谢谢,
天行健君子以自强不息,地势坤君子以厚德载物
4楼2012-12-16 11:48:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qsh354

铁杆木虫 (著名写手)

做一个简单而纯粹的人

【答案】应助回帖

如果能破坏的话,稍微薄薄的刮一层下来做个红外看一下。
回归,回归到做人的原始状态
5楼2012-12-17 11:04:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +32 医学老男孩 2026-08-13 72/3600 2026-08-16 13:15 by 医学老男孩
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +11 家与远方 2026-08-10 16/800 2026-08-16 10:28 by ray43
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +12 archvillain 2026-08-15 23/1150 2026-08-15 20:47 by foyo404
[基金申请] filecode +8 cratir 2026-08-14 12/600 2026-08-15 18:08 by zyfgau
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 静等基金结果 +8 gjjjzhong 2026-08-10 21/1050 2026-08-13 17:56 by 且听虎啸
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见