| 查看: 1496 | 回复: 5 | ||
linberg木虫 (正式写手)
|
[求助]
溅射硅靶的时候表面出现斑点
|
|
最近射频溅射硅靶的时候生长速度特别快，而且靶表面出现很多小坑，并且出现泛白的斑点，就是图上红圈内的那些。并且原来溅射后整个靶表面都很光洁，呈镜面反射，就像最中心那一块一样，现在最优溅射区域溅射后发白，呈漫反射了。有谁知道是怎么回事吗？PS：靶上面本来没那些的小坑的，最近换靶头之后变成这样了。 对了，我的溅射条件是Ar气氛，气压0.8Pa，溅射前的背底真空是5×10-4Pa。  1.jpg [ Last edited by linberg on 2012-11-5 at 16:44 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
时间戳又变了
已经有19人回复
-
建议基金发布提前给出明确的时间点
已经有4人回复
-
filecode，4个jtjc了
已经有14人回复
-
看来今天不会放榜了？
已经有9人回复
-
让我中一个面上吧！
已经有13人回复
-
人气不行了
已经有7人回复
-
今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果
已经有18人回复
-
感觉是下周放榜了
已经有12人回复
-
我面上完蛋了
已经有8人回复
-
只有每年这种时候来逛逛小木虫
已经有25人回复
2楼2012-11-10 10:07:47
linberg
木虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 3194.4
- 散金: 338
- 红花: 2
- 帖子: 364
- 在线: 161小时
- 虫号: 1600178
- 注册: 2012-02-05
- 专业: 半导体材料
3楼2012-11-10 22:02:04
sun-boymlh
铜虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 36.2
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 411
- 在线: 101.2小时
- 虫号: 757723
- 注册: 2009-04-26
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2012-11-12 19:26:31
linberg
木虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 3194.4
- 散金: 338
- 红花: 2
- 帖子: 364
- 在线: 161小时
- 虫号: 1600178
- 注册: 2012-02-05
- 专业: 半导体材料
5楼2012-11-12 21:07:12
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
6楼2012-11-13 05:32:54
40