| 查看: 1358 | 回复: 5 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
linberg木虫 (正式写手)
|
[求助]
溅射硅靶的时候表面出现斑点
|
|
|
最近射频溅射硅靶的时候生长速度特别快，而且靶表面出现很多小坑，并且出现泛白的斑点，就是图上红圈内的那些。并且原来溅射后整个靶表面都很光洁，呈镜面反射，就像最中心那一块一样，现在最优溅射区域溅射后发白，呈漫反射了。有谁知道是怎么回事吗？PS：靶上面本来没那些的小坑的，最近换靶头之后变成这样了。 对了，我的溅射条件是Ar气氛，气压0.8Pa，溅射前的背底真空是5×10-4Pa。  1.jpg [ Last edited by linberg on 2012-11-5 at 16:44 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
071000生物学求调剂，初试成绩343
已经有3人回复
-
一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。
已经有6人回复
-
0703化学/290求调剂/本科经历丰富/工科也可
已经有7人回复
-
266分求材料化工冶金矿业等专业的调剂
已经有3人回复
-
一志愿厦门大学化学学硕307求调剂
已经有7人回复
-
0703化学338求调剂！
已经有4人回复
-
284求调剂
已经有8人回复
-
总分322求生物学/生化与分子/生物信息学相关调剂
已经有6人回复
-
生物学 296 求调剂
已经有6人回复
-
生物学学硕，一志愿湖南大学，初试成绩338
已经有4人回复
linberg
木虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 3184.9
- 散金: 338
- 红花: 2
- 帖子: 361
- 在线: 160.5小时
- 虫号: 1600178
- 注册: 2012-02-05
- 专业: 半导体材料
3楼2012-11-10 22:02:04
2楼2012-11-10 10:07:47
sun-boymlh
铜虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 36.2
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 411
- 在线: 101.2小时
- 虫号: 757723
- 注册: 2009-04-26
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2012-11-12 19:26:31
linberg
木虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 3184.9
- 散金: 338
- 红花: 2
- 帖子: 361
- 在线: 160.5小时
- 虫号: 1600178
- 注册: 2012-02-05
- 专业: 半导体材料
5楼2012-11-12 21:07:12
20