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lu_ren2012主管区长
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[求助]
XRD测试问题求助！！
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| 测量GaAs衬底的片子时，实际上衬底具有2度的偏角，但是在测试过程中，认为衬底偏角为0度，测出RC曲线，而且在同一个片子上，用同样方法测试了三个不同的点，请问衬底偏角选着的错误对测试结果的影响有多大？用这种方法测试的三个不同点，最后拟合的结果有没有可比性，可不可以作为参考？请高手指教，非常感谢 |
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