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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » XRD测试问题求助！！
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lu_ren2012

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] XRD测试问题求助！！

测量GaAs衬底的片子时，实际上衬底具有2度的偏角，但是在测试过程中，认为衬底偏角为0度，测出RC曲线，而且在同一个片子上，用同样方法测试了三个不同的点，请问衬底偏角选着的错误对测试结果的影响有多大？用这种方法测试的三个不同点，最后拟合的结果有没有可比性，可不可以作为参考？请高手指教，非常感谢
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1楼 2012-10-24 11:20:35
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蒋青松

新虫
帮顶···········
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2楼2012-10-25 07:50:20
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Cobra8929

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
3个不同点？你们的光管这么好？3个位置没有可比性，测试样品时旋转样品台测试后再比较一下吧，自己随意摆放位置的没有任何意义
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3楼2012-10-25 08:33:50
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lu_ren2012

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
3楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-25 08:33:50
3个不同点？你们的光管这么好？3个位置没有可比性，测试样品时旋转样品台测试后再比较一下吧，自己随意摆放位置的没有任何意义

没有随意摆放位置的，我们是按中间向一个方向移动测试，为了做一个拟合后厚度的对比。
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4楼2012-10-25 15:15:27
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Cobra8929

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
4楼: Originally posted by lu_ren2012 at 2012-10-25 15:15:27
没有随意摆放位置的，我们是按中间向一个方向移动测试，为了做一个拟合后厚度的对比。...

请问移动了多少？光斑还有宽度呢
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5楼2012-10-25 15:31:16
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lu_ren2012

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
5楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-25 15:31:16
请问移动了多少？光斑还有宽度呢...

请问这个跟光斑有什么影响，片子基本是均匀的，我只是平移，只是使x-ray照射到了wafer上不同的点上而已。
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6楼2012-10-25 17:05:55
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Cobra8929

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你不是说衬底具有2度的偏角？你们XRD是点光斑？
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7楼2012-10-26 08:13:26
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lu_ren2012

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
7楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-26 08:13:26
你不是说衬底具有2度的偏角？你们XRD是点光斑？

三晶的XRD测试仪，正常应该是点光斑，我在2寸的片子上，移动距离为x方向10，请问衬底偏角和我移动的距离具有什么样的关系啊，我以前不是学材料的，有些东西不是很懂的，请指教。
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8楼2012-10-29 08:56:58
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