24小时热门版块排行榜    

查看: 1499  |  回复: 7

lu_ren2012

木虫 (小有名气)

[求助] XRD测试问题求助!!

测量GaAs衬底的片子时,实际上衬底具有2度的偏角,但是在测试过程中,认为衬底偏角为0度,测出RC曲线,而且在同一个片子上,用同样方法测试了三个不同的点,请问衬底偏角选着的错误对测试结果的影响有多大?用这种方法测试的三个不同点,最后拟合的结果有没有可比性,可不可以作为参考?请高手指教,非常感谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

帮顶···········
2楼2012-10-25 07:50:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Cobra8929

至尊木虫 (职业作家)

3个不同点?你们的光管这么好?3个位置没有可比性,测试样品时旋转样品台测试后再比较一下吧,自己随意摆放位置的没有任何意义
3楼2012-10-25 08:33:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lu_ren2012

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-25 08:33:50
3个不同点?你们的光管这么好?3个位置没有可比性,测试样品时旋转样品台测试后再比较一下吧,自己随意摆放位置的没有任何意义

没有随意摆放位置的,我们是按中间向一个方向移动测试,为了做一个拟合后厚度的对比。
4楼2012-10-25 15:15:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Cobra8929

至尊木虫 (职业作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lu_ren2012 at 2012-10-25 15:15:27
没有随意摆放位置的,我们是按中间向一个方向移动测试,为了做一个拟合后厚度的对比。...

请问移动了多少?光斑还有宽度呢
5楼2012-10-25 15:31:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lu_ren2012

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-25 15:31:16
请问移动了多少?光斑还有宽度呢...

请问这个跟光斑有什么影响,片子基本是均匀的,我只是平移,只是使x-ray照射到了wafer上不同的点上而已。
6楼2012-10-25 17:05:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Cobra8929

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你不是说衬底具有2度的偏角?你们XRD是点光斑?
7楼2012-10-26 08:13:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lu_ren2012

木虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-26 08:13:26
你不是说衬底具有2度的偏角?你们XRD是点光斑?

三晶的XRD测试仪,正常应该是点光斑,我在2寸的片子上,移动距离为x方向10,请问衬底偏角和我移动的距离具有什么样的关系啊,我以前不是学材料的,有些东西不是很懂的,请指教。
8楼2012-10-29 08:56:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lu_ren2012 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 东南大学364求调剂 +4 JasonYuiui 2026-03-15 4/200 2026-03-16 08:36 by Linda Hu
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 【0703化学调剂】-一志愿华中师范大学-六级475 +5 Becho359 2026-03-11 5/250 2026-03-14 11:35 by 哦哦123
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[考研] 266求调剂 +4 学员97LZgn 2026-03-13 4/200 2026-03-14 08:37 by zhukairuo
[考研] 云南财经大学信息学院计算机学硕专硕学位点 +3 zjptai 2026-03-10 5/250 2026-03-14 01:23 by 飞行琦
[基金申请] 有必要更换申报口吗 20+3 fannyamoy 2026-03-11 3/150 2026-03-14 00:52 by zhanghaozhu
[考研] 307求调剂 +7 超级伊昂大王 2026-03-10 7/350 2026-03-14 00:49 by JourneyLucky
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +3 Zz版 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:36 by 18595523086
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 314求调剂 +7 无懈可击的巨人 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:40 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +3 S.H1 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:15 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-12 4/200 2026-03-12 19:33 by 求调剂zz
信息提示
请填处理意见