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lu_ren2012

木虫 (小有名气)

[求助] XRD测试问题求助!!

测量GaAs衬底的片子时,实际上衬底具有2度的偏角,但是在测试过程中,认为衬底偏角为0度,测出RC曲线,而且在同一个片子上,用同样方法测试了三个不同的点,请问衬底偏角选着的错误对测试结果的影响有多大?用这种方法测试的三个不同点,最后拟合的结果有没有可比性,可不可以作为参考?请高手指教,非常感谢
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)

优秀版主优秀版主优秀版主

帮顶···········
2楼2012-10-25 07:50:20
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Cobra8929

至尊木虫 (职业作家)

3个不同点?你们的光管这么好?3个位置没有可比性,测试样品时旋转样品台测试后再比较一下吧,自己随意摆放位置的没有任何意义
3楼2012-10-25 08:33:50
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lu_ren2012

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-25 08:33:50
3个不同点?你们的光管这么好?3个位置没有可比性,测试样品时旋转样品台测试后再比较一下吧,自己随意摆放位置的没有任何意义

没有随意摆放位置的,我们是按中间向一个方向移动测试,为了做一个拟合后厚度的对比。
4楼2012-10-25 15:15:27
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Cobra8929

至尊木虫 (职业作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lu_ren2012 at 2012-10-25 15:15:27
没有随意摆放位置的,我们是按中间向一个方向移动测试,为了做一个拟合后厚度的对比。...

请问移动了多少?光斑还有宽度呢
5楼2012-10-25 15:31:16
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lu_ren2012

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-25 15:31:16
请问移动了多少?光斑还有宽度呢...

请问这个跟光斑有什么影响,片子基本是均匀的,我只是平移,只是使x-ray照射到了wafer上不同的点上而已。
6楼2012-10-25 17:05:55
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Cobra8929

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你不是说衬底具有2度的偏角?你们XRD是点光斑?
7楼2012-10-26 08:13:26
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lu_ren2012

木虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by Cobra8929 at 2012-10-26 08:13:26
你不是说衬底具有2度的偏角?你们XRD是点光斑?

三晶的XRD测试仪,正常应该是点光斑,我在2寸的片子上,移动距离为x方向10,请问衬底偏角和我移动的距离具有什么样的关系啊,我以前不是学材料的,有些东西不是很懂的,请指教。
8楼2012-10-29 08:56:58
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