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雨过天晴57

木虫 (初入文坛)

[求助] 硅 湿法刻蚀 掩膜

各位师兄师姐好,请问硅湿法刻蚀40微米深,用哪种材料做掩膜比较结实,不宜被腐蚀掉,谢谢,如果有,请提供刻蚀方法,我会追加金币的。
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真空涨落

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

他的意思是直接光刻,就不用掩膜啦,光刻胶来作掩膜。
也可以腐蚀两种掩膜,用缓冲氢氟酸

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
物含妙理总堪寻
5楼2012-10-04 22:13:53
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