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南方科技大学公共卫生及应急管理学院2025级博士研究生招生报考通知
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 控制衬底温度的电极

请教下大家,有没有做磁控溅射的。关于衬底温度的控制,需要加装电极,一般用什么电极,以及电极去哪买比较好?希望各位大侠能够解答,谢谢!

[ Last edited by 我是柯兴宇啊 on 2012-9-10 at 16:01 ]
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dannygo

金虫 (小有名气)

同行,请问哪有光电薄膜材料的制备的方法总结?
请别记住我……
2楼2012-09-11 12:11:01
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by dannygo at 2012-09-11 12:11:01
同行,请问哪有光电薄膜材料的制备的方法总结?

大哥,我的问题还没有解答呢。我现在都毫无眉目!
你相信,你行的
3楼2012-09-11 16:20:37
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般是单Pt电极,可以在市场上买到的。
4楼2012-09-12 00:29:02
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by mosleo at 2012-09-12 00:29:02
一般是单Pt电极,可以在市场上买到的。

电极可以加热衬底基片吗?我刚淘宝问了下好像不能加热啊!我想控制衬底的温度,各位大侠给点意见啊!
你相信,你行的
5楼2012-09-12 09:40:37
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

你的磁控溅射设备有外接电极接口,可以买一个小型加热炉安装上就可以,其实就是一个类似与电炉子结构的加热体。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

6楼2012-09-12 09:44:56
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by mosleo at 2012-09-12 09:44:56
你的磁控溅射设备有外接电极接口,可以买一个小型加热炉安装上就可以,其实就是一个类似与电炉子结构的加热体。

大侠,你的QQ号多少,我想和你详谈啊,谢谢啊!
你相信,你行的
7楼2012-09-12 09:50:17
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:
6楼: Originally posted by mosleo at 2012-09-12 09:44:56
你的磁控溅射设备有外接电极接口,可以买一个小型加热炉安装上就可以,其实就是一个类似与电炉子结构的加热体。

求解答啊,不知道衬底用什么加热,需要一些设备,是有电极接口。我想知道具体需要什么,能和你直接联系吗?我Q号799650441.帮助下小弟啊。
你相信,你行的
8楼2012-09-12 10:00:43
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