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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 磁控溅射 控制衬底温度的电极
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 控制衬底温度的电极

请教下大家，有没有做磁控溅射的。关于衬底温度的控制，需要加装电极，一般用什么电极，以及电极去哪买比较好？希望各位大侠能够解答，谢谢！

[ Last edited by 我是柯兴宇啊 on 2012-9-10 at 16:01 ]
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你相信，你行的
1楼 2012-09-10 15:36:21
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dannygo

金虫 (小有名气)
同行，请问哪有光电薄膜材料的制备的方法总结？
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请别记住我……
2楼2012-09-11 12:11:01
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dannygo at 2012-09-11 12:11:01
同行，请问哪有光电薄膜材料的制备的方法总结？

大哥，我的问题还没有解答呢。我现在都毫无眉目！
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你相信，你行的
3楼2012-09-11 16:20:37
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是单Pt电极，可以在市场上买到的。
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4楼2012-09-12 00:29:02
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by mosleo at 2012-09-12 00:29:02
一般是单Pt电极，可以在市场上买到的。

电极可以加热衬底基片吗？我刚淘宝问了下好像不能加热啊！我想控制衬底的温度，各位大侠给点意见啊！
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你相信，你行的
5楼2012-09-12 09:40:37
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

你的磁控溅射设备有外接电极接口，可以买一个小型加热炉安装上就可以，其实就是一个类似与电炉子结构的加热体。
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

我是柯兴宇啊
6楼2012-09-12 09:44:56
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by mosleo at 2012-09-12 09:44:56
你的磁控溅射设备有外接电极接口，可以买一个小型加热炉安装上就可以，其实就是一个类似与电炉子结构的加热体。

大侠，你的QQ号多少，我想和你详谈啊，谢谢啊！
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你相信，你行的
7楼2012-09-12 09:50:17
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我是柯兴宇啊

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by mosleo at 2012-09-12 09:44:56
你的磁控溅射设备有外接电极接口，可以买一个小型加热炉安装上就可以，其实就是一个类似与电炉子结构的加热体。

求解答啊，不知道衬底用什么加热，需要一些设备，是有电极接口。我想知道具体需要什么，能和你直接联系吗？我Q号799650441.帮助下小弟啊。
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你相信，你行的
8楼2012-09-12 10:00:43
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