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我是柯兴宇啊新虫 (初入文坛)
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[求助]
磁控溅射 控制衬底温度的电极
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请教下大家，有没有做磁控溅射的。关于衬底温度的控制，需要加装电极，一般用什么电极，以及电极去哪买比较好？希望各位大侠能够解答，谢谢！ [ Last edited by 我是柯兴宇啊 on 2012-9-10 at 16:01 ] |
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dannygo
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2楼2012-09-11 12:11:01