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zhxj-168金虫 (著名写手)
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衬底材料对于传感器性能有没有影响?
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气敏传感器使用的衬底是氧化铝,如果把氧化铝换成透明氧化铝,透明氧化铝参数如下:气孔率0.030%,平均晶粒度6.5μm,透光率90%,三点弯强度550MPa,维氏硬度20,对于器件的性能有没有影响? 衬底材料对于传感器有没有影响?作用机理是什么? |
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gtr2008
木虫 (正式写手)
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2楼2012-09-02 22:30:36
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3楼2012-09-03 14:08:46
zhxj-168
金虫 (著名写手)
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