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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 衬底材料对于传感器性能有没有影响？
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zhxj-168

金虫 (著名写手)

[求助] 衬底材料对于传感器性能有没有影响？

气敏传感器使用的衬底是氧化铝，如果把氧化铝换成透明氧化铝，透明氧化铝参数如下：气孔率0.030%，平均晶粒度6.5μm，透光率90%，三点弯强度550MPa，维氏硬度20，对于器件的性能有没有影响？
衬底材料对于传感器有没有影响？作用机理是什么？
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1楼 2012-09-02 21:32:17
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gtr2008

木虫 (正式写手)
气敏传感器结构很多，你这是那种类型的
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2楼2012-09-02 22:30:36
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Torres丁

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
3楼2012-09-03 14:08:46
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zhxj-168

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gtr2008 at 2012-09-02 22:30:36
气敏传感器结构很多，你这是那种类型的

薄膜型的，衬底上是ZnO纳米纤维
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4楼2012-09-03 16:08:32
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