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衬底材料对于传感器性能有没有影响?
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zhxj-168
金虫
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虫号: 265678
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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衬底材料对于传感器性能有没有影响?
气敏传感器使用的衬底是氧化铝,如果把氧化铝换成透明氧化铝,透明氧化铝参数如下:气孔率0.030%,平均晶粒度6.5μm,透光率90%,三点弯强度550MPa,维氏硬度20,对于器件的性能有没有影响?
衬底材料对于传感器有没有影响?作用机理是什么?
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1楼
2012-09-02 21:32:17
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zhxj-168
金虫
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虫号: 265678
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性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
gtr2008
at 2012-09-02 22:30:36
气敏传感器结构很多,你这是那种类型的
薄膜型的,衬底上是ZnO纳米纤维
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4楼
2012-09-03 16:08:32
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gtr2008
木虫
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虫号: 776028
注册: 2009-05-21
专业: 半导体电子器件
气敏传感器结构很多,你这是那种类型的
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2楼
2012-09-02 22:30:36
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Torres丁
禁虫
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3楼
2012-09-03 14:08:46
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